一、超精密微机械制造技术的内涵超精密微机械制造技术兴起于20世纪80年代末90年代初，一经问世就受到人们 的广泛关注。超精密微机械制造技术主要是 通过采用No-MEMS制造技术，将传统的加工技术应用于微小零件的大批量生产中。微小机械零件是 微制造系统加工的主要对象，在微制造系统加工的过程中涉及到了供料、加工、检测与搬运等环节，在这些环节中不仅应用了系统化的理论，同时还采用了先进的技术，从而实现零件结构的有机组合和优化，最 终实现微小零件的制造。
微制造系统的理念是 实现小机床加工小零件，在加工非 硅类材料微小零件时经常采用微制造系统。超精密微机械制造技术具有体积小、能耗低、生产效率高等优点，能够有效的节约能源和制造空间，是 一种 更加节能和环保的生产模式，是 我国微机械制造的未来发展方向之一。
二、超精密加工的特点
20世纪80年代末，超精密微机械制造技术逐渐兴起。随着机械技术的不断发展和完善，超精密微机械制造技术的加工精度和加工尺寸具备了非 常高的精度。超精密加工具备很多特点，下文将对此进行详细地介绍。第 一，超精密加工在实施的过程中遵守进化加工的原则。而进化加工包括两种 方式，一种 是 自接方式，另一种 是 间接方式。自接式加工主要适用于单件、小批量工件的生产加工。自接加工过程中使用的设备精度比工件的精度要低，为了满足工件精度的要求，在加工的过程中需要经过特殊的工艺处理。与此同时，间接式是 在自接式的基础上生产第 二代工作母机，然后再借助母件完成工件的批量生产和加工。间接式加工主要应用于批量生产。第 二，微量切削机理。切削工件的整个过程是 在晶粒中完成的，和传统的切削工艺相比，晶粒比背吃刀量要大。第 三，一些新的方法和工艺被应用于超精密微机械制造加工过程中。随着工件加工技术的不断发展，微机械零件的加工要求不断提升。随着特种 加工、复合加工等多种 新方法的应用，有效的促进了加工精度。第 四，超精密加工形成了综合的制造工艺。超精密加工对于工件的材料、加工方法、设备以及测试手段等进行了综合的考虑 ，有效的提升了工件的加工质量，形成了系统化的加工制造工艺。第 五，在超精密微机械制造技术应用的过程中结合了自动化技术。超精密加工有效的提升了产品设计的科学性，实现了产品检测、控制的自动化，提高了产品加工的质量与精度，保证了超精密加工的质量与效率。
三、超精密微机械制造技术的发展
目前，关于微型电系统技术的研究主要集中在三个方面。第 一，是 先进器件和工艺的研究。第 二，是 微系统的研究；第 三，是 演示记忆支撑技术的研究。超精密微机械制造技术在实践中的应用主要表现在下述几个方面。第 一，是 用于流体的传感和控制；第 二，是 储存大容量的数据；第 三，是 用于光学成像研究；第 四，是 用于导航仪器和通讯 设备；第 五，是 用于传感器。微型电系统的研究大大促进了超精密微机械制造技术的进步。和国外发达国家相比，我国在微型电系统方面的研究没有落后太多，关于微型自升机、微马达、集成式压力式传感器以及微机械光开关等的研究已经处于国际领 先地位。除此之外，用于精密仪器、精密机床的基座和工作台面的花岗石平台，不仅满足了国内的需求，更受到国外厂商的青睐。
1、微型制造系统的提出
鉴于微型机械制造零件的特殊性，微型机械制造零件使用的材料比较特殊，采用的形状比较复杂。为了更好地发挥微型机械的性能，必须要加强对微型机械零件制造工艺的研究，采用性能更优越的大理石平台作为工作台面和基座，提高微型机械零件制造工艺的水平。目前，我国在光刻方面的研究比较多，技术也比较成熟。因此，我国很多微型机械零件都采用光刻技术。但是 ，在微型机械零件制造的过程中应用光刻技术只能进行二维或者准三维加工，真正的三维形状零件用光刻技术不能有效的完成。由此可见，为了实现对三维微小零件的加工，必须要加强在微型机械零件制造技术方面的研究，实现对微小机械零件进行三维加工的目的。
2、超精密加工技术在MEMS系统中的应用
精密加工技术属于先进制造技术。通常来说，在进行微米级、亚微米级零件加工的过程中才会使用精密加工技术。超精密加工技术的级别更高，当加工零件的尺寸在亚微米级以下时才会使用超精密加工技术。进行超精密加工技术研究，其主要的研究内容包括亚微米级以下的加工工艺、使用的加工设备、加工过程中所处的环境、加工过程中采用的原理等。未来，随着微型电系统的不断发展，对微小零件形状的要求会越来越复杂，非 硅材料三维复杂形状微小零件加工工艺还将会有所发展。目前，在三维形状微小零件加工的过程中采用的加工工艺主要是 切削和磨削两种 。但由于切削工艺在实践的过程中小好控制力度，因此在微小零件加工的过程中很少采用切削工艺。近年来，随着超精密微机械制造技术的不断发展，加工亚微米级微小零件已经不属于难点问题了。
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